Ballistischer W?rmetransport in dünnen Oxidschichten

In diesem Projekt soll die W?rmeleitf?higkeit im ?bergangsbereich vom diffusiven zum ballistischen thermischen Transport experimentell untersucht werden. Ziel ist es, das Regime des ballistischen Phononentransports eindeutig zu identifizieren. Hierzu soll die Schichtdicke von halbleitenden Oxidschichten von einigen 100 nm bis hinunter zu 5-10 nm reduziert werden. Als Modelsystem mit gro?em Anwendungspotential, z.B. in der Leistungselektronik, wird beta-Galliumoxid als epitaktische Schichten gewachsen und im Vergleich zu exfoliierten nahezu defektfreien einkristallinen Schichten untersucht. Ausgehend von unseren erfolgsversprechenden Vorarbeiten zum elektrischen und thermischen Transport an einkristallinen Volumenmaterial und exfoliierten Schichten sollen epitaktische Schichten aus beta-Galliumoxid mit Schichtdicken im Nanometerbereich hergestellt werden. Die für den W?rmetransport verantwortliche Phononenstreuung wird als Funktion von Temperatur, Schichtdicke und Dotierung untersucht.