Berliner Netzwerk für Elektronenmikroskopie – Elektronenholographie an Nanoskaligen Halbleiterstrukturen

Auf einen Blick

Laufzeit
08/2017  – 09/2020
DFG-Fachsystematik

Mechanische Eigenschaften von metallischen Werkstoffen und ihre mikrostrukturellen Ursachen

Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik

F?rderung durch

DFG Sachbeihilfe DFG Sachbeihilfe

Projektbeschreibung

Es soll ein Netzwerk für Elektronenmikroskopie an Halbleiternanostrukturen etabliert werden, in dem verschiedene Universit?ten und Forschungseinrichtungen im Berliner Raum aktiv zusammenarbeiten. Es soll sowohl Elektronenmikroskopielabors, als auch die Hersteller von Halbleiternanostrukturen umfassen. Ausgangspunkt für dieses Netzwerk soll die Etablierung eines Ger?tezentrums für Elektronenholographie sein, welches state-of-the-art elektronenholographische Untersuchungen zu mechanischen Verspannungen, Ladungstr?gerkonzentrationen, Elektrischen Feldern, und ?hnlicher Charakterisierung anbietet. Als Keimzelle für das zu etablierende Netzwerk werden kick-off Projekte mit verschiedenen Partnern definiert. Langfristig soll die vom Netzwerk zur Verfügung gestellte Palette der elektronenmikroskopischen Charakterisierungsmethoden über die Elektronenholographie hinaus deutlich erweitert werden. Die Anwendung von cutting edge Charakterisierungsmethoden auf hochrelevanten Problemstellungen verschafft dem Netzwerk und dem Ger?tezentrum für Elektronenholographie nationale und internationale Sichtbarkeit.

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